1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем»




Скачать 26.93 Kb.
Название1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем»
Дата конвертации01.01.2013
Размер26.93 Kb.
ТипДокументы

УДК 621.382(06) Микроэлектроника




Н.Н. БАЛАН1, А.Б. НЕВСКИЙ2, С.С. ГАВРИН, А.О. ГРУЗДЕВ

1ОАО «Технопарк Ангстрема»,

2ОАО «Ангстрем»,

Московский инженерно-физический институт (государственный университет)


Контроль СТРУКТУРНЫХ И ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ ПЛЕНОК siPt-металлизации электродов туннельного датчика методами сканирующей зондовой микроскопии


С целью определения структурных и электрофизических свойств SiPt-пленок, используемых в качестве электродного материала в чувствительном элементе туннельного сенсора, было проведено их СЗМ-исследование на различных этапах изготовления изделия. По результатам эксперимента были выработаны рекомендации к температурным режимам производимых технологических процессов.


Микромеханические преобразователи физических величин с использованием туннельного эффекта являются весьма перспективными из-за чрезвычайно высокой чувствительности туннельного тока к изменению ширины барьера [1]. Работы по созданию подобных преобразователей ведутся, в частности, и на отечественных предприятиях [2].

В качестве материала электродной металлизации экспериментального изделия был выбран силицид платины (SiPt), получаемый путем вжигания металлической платины в слой поликремния [3]. Этот материал обладает высокой электропроводностью, а также является весьма удобным с точки зрения формирования топологического рисунка.

С целью определения структурных и электрофизических свойств SiPt-пленок были проведены СЗМ-исследования поверхности до (рис.1 а, б) и после (рис.1 в, г) температурной обработки образца при температуре 850ºС. Топография поверхности исследовалась в полуконтактном режиме АСМ (рис.1 а, в). Измерение сопротивления растекания проводилось при использовании зонда с платиновым покрытием при прилагаемом напряжении U = +3,5В в контактном режиме АСМ.

Морфология поверхности неоднородна с образованием конгломератов 60÷200 нм. На картине сопротивления растекания до термообработки видны образования величиной 10÷80 нм (тёмные включения), которые можно интерпретировать как неэлектропроводные области, сформированные выходом на поверхность кремния с последующим окислением. Латеральные (по поверхности) конгломераты 0,1÷0,3 мкм на площади 1мкм×1мкм коррелируют с областями более высокой электропроводности.



а)



б)



в)



г)

Рис. 1. СЗМ-изображения топографии и сопротивления растекания для пленки PtSi до и после термообработки

Картина сопротивления растекания после термообработки показывает низкую проводимость поверхности (I < 0.2 нА при U = +2.5 В), однако на ней присутствуют проводящие включения размером 10-15 нм. По результатам исследований можно сделать вывод о том, что пленки силицида платины обладают необходимыми характеристиками для использования их в качестве электродов чувствительного элемента туннельного датчика. Однако после термической обработки при температуре 850оС происходит значительная перекристаллизация и рост зерен силицида платины, обладающих необходимой проводимостью, с одновременным увеличением площади плохо проводящих участков поверхности. Поэтому максимальная температура термообработок не должна превышать 830оС – температуры плавления эвтектического состава силицида платины.

Измерения проводились на СЗМ Solver P47 (фирма NT-MDT, Зеленоград). Авторы благодарны В.Д. Фролову за помощь в проведении измерений.

Список литературы

1. Liu C.H., Kenny T.A., Journal of microelectromechanical systems. 2001. Vol.10. № 3;

2. Alexenko A.G. et al. Tunnel effect nanodetector of mechanical vibrations and method for preparation thereof. United States Patent. US 6,829,941 B2. Dec. 14, 2004

3. Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС М.Мир, 1986.


_______________________________________________________________________

ISBN 5-7262-0633-9. НАУЧНАЯ СЕССИЯ МИФИ-2006. Том 1

Добавить в свой блог или на сайт

Похожие:

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconПрограмма проведения «День открытых турникетов» в ОАО «Технопарк Слава»
Дополнительные услуги, оказываемые ОАО «Технопарк Слава» предприятиям-резидентам

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconРасписание занятий семинара дано в Приложении 1; объем учебной программы 80 часов
Оао «интер рао еэс», ОАО «огк 1 – 6», «тгк 1 – 14», ОАО «фск еэс», ОАО «рао эс востока», ОАО «Иркутскэнерго», «Магаданэнерго», «Камчатэнерго»,...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconРаткая аннотация основной образовательной программы
Оао нижегородская инжиниринговая компания «Атомэнергопроект», ОАО «Гипрогазцентр», ОАО «Гипрониигаз», ОАО «газ», ОАО «Нижегородский...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconОборотное водоснабжение. Очистка сточных вод. Энергосбережение
Оао «Московский нефтеперерабатывающий завод», тоо «Атырауский нпз», ООО «Лукойл-пнос», а также специалисты ОАО «Новокузнецкий металлургический...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconАналитическая записка по выполнению Программы реформирования
Оао “Красноярскэнерго”, ОАО “Ивэнерго”, ОАО “Ростовэнерго”, ОАО “Владимирэнерго”

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconУтвержден Приказом Госстроя России, Минэнерго России от 4 августа 2000 г. N 176/56 с изменениями, утв. Приказом Госстроя России
Разработан ОАО "Росгазификация", ОАО "Гипрониигаз" при участии специалистов ОАО "Орелоблгаз", ОАО "Курскгаз", ОАО "Смоленскоблгаз",...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconОтчет ОАО «Технопарк «Система-Саров»

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconСтроительные нормы и правила российской федерации гидротехнические сооружения
Разработаны ОАО "внииг им. Б. Е. Веденеева" с участием ОАО "Институт Гидропроект", ОАО "Ленгидропроект", ОАО "нииэс", нтц "Энергонадзора",...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconРекомендации по проектированию и установке полимерных опорных частей мостов одм 218 002-2008
...

1 ОАО «Технопарк Ангстрема», 2 ОАО «Ангстрем» iconГосстрой россии
Оао «Ленгидропроект», ОАО «нииэс», нтц «Энергонадзора», ООО «Гидроспецпроект», ОАО «Институт Теплоэлектропроект», ОАО «Ленморниипроект»,...


Разместите кнопку на своём сайте:
lib.convdocs.org


База данных защищена авторским правом ©lib.convdocs.org 2012
обратиться к администрации
lib.convdocs.org
Главная страница