Нанотехнологии в электронике




Скачать 49.47 Kb.
НазваниеНанотехнологии в электронике
Дата конвертации19.02.2013
Размер49.47 Kb.
ТипДокументы
Наименование дисциплины: Нанотехнологии в электронике

Направление подготовки: 210100 Электроника и наноэлектроника

Профильная направленность: Интегральная электроника и наноэлектроника

Квалификация (степень) выпускника: магистр

Форма обучения: очная

Автор: к.ф.-м.н., доцент, доцент кафедры нанотехнологий в электронике А.Б. Чурилов


1. Целями освоения дисциплины Нанотехнологии в электронике являются:

  • формирование знаний в области теоретических и технологических принципов наноэлектроники, составляющих основу для системотехнических и схемотехнических решений при построении современных информационных систем;

  • ознакомление студентов с основными идеями и техническими решениями, используемыми в современной интегральной электронике;

  • овладение умениями и навыками в оценке функциональных, количественных и качественных характеристик современных технологических методов и их использовании в наноэлектронике.



2. Дисциплина Нанотехнологии в электронике относится к вариативной части профессионального цикла М2.В. Изучается в 1 семестре. Продолжает и развивает содержание дисциплины Основы нанотехнологий в электронике, преподаваемой в рамках ООП бакалавриата. Теоретической основой курса «Нанотехнологии в электронике» являются фундаментальные физические дисциплины, и в первую очередь это квантовая механика, статистическая физика, физика твердого тела, физика полупроводников, тонких плёнок и низкоразмерных систем. Является дисциплиной профильной направленности (Интегральная электроника и наноэлектроника) в структуре направления магистерской программы.


3. В результате освоения дисциплины обучающийся должен:

Знать:

  • состояние и динамику развития современной нанотехнологии и ее место в производстве электроники, современные технологические методы и принципы изготовления приборов и элементов нанометровых масштабов, новые материалы и принципы конструирования в перспективных нанотехнологиях;

  • физические ограничения в технологии производства ИС, а также ограничения на размеры элементов, накладываемые механизмом их работы, характерные масштабы величин, основные физические формулы и константы относящиеся к этому разделу физики и их размерность.

Уметь:

  • применять знания, полученные при изучении курса «Нанотехнологии в электронике» при рассмотрении вопросов, связанных с теоретическими, экспериментальными и технологическими аспектами разработки и изготовления наноэлектронных приборов и устройств, основных методов получения наночастиц и наноструктур, использовать для этого методы и знания, полученные при изучении других физических и математических дисциплин;

  • применять методы измерений и исследований, включая организацию и проведение стандартных испытаний и технического контроля, обеспечивающих требуемое качество продукции, работать с установками и приборами для проведения физических, химических и биологических экспериментов, выбирать и использовать методы анализа материалов и структур.

Владеть:

  • основами базовых и типовых технологических операций современной наноэлектроники, оценочными расчетами физических эффектов и технологических ограничений, оказывающих влияние на процессы изготовления и функционирования элементов и устройств нанометровых размеров.

  • информацией об областях применения и перспективах развития нанотехнологий; навыками анализа первичных экспериментальных данных исследования структуры и физико-химических свойств наночастиц и нанообъектов с использованием основных методов;

  • навыками проведения экспертной оценки существующих и перспективных нанотехнологий, элементов и устройств наноэлектроники;

  • терминологией, используемой в данной области знаний.



4. Общая трудоемкость дисциплины составляет 5 зачетных единиц, 180 часов.


5. Содержание дисциплины:


п/п

Раздел дисциплины

1

Физические основы и технологические ограничения наноэлектроники

2

Методы формирования диэлектрических, полупроводниковых и проводящих слоев в технологии микро- и наноэлектроники

3

Формирование топологии элементов и структур в технологии наноэлектроники

4

Методы диагностики и визуализации в нанотехнологии и наноэлектронике

5

Элементы, приборы и устройства наноэлектроники. Микро- и нано-механические системы



6. Учебно-методическое и информационное обеспечение дисциплины:


а) основная литература:

  1. В.Н. Лозовский, Г.С. Константинова, С.В. Лозовский - Нанотехнология в электронике. Введение в специальность: Учебное пособие. 2-е изд., СПб.: «Лань», 2008.— 336 с.

  2. В.В.Старостин – Материалы и методы нанотехнологий. Учебное пособие. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 431 С.

  3. А.А.Щука – Наноэлектроника. М.: «Физматкнига», 2007.— 464 с.

б) дополнительная литература:

  1. Technology Roadmap for Nanoelectronics. // European Commission IST Programme. Microelectronics Advanced Research Initiative. MELARI NANO – Editors: R. Compañó, L. Molenkamp, D. J. Paul, 2000, 81 P.

  2. К.Пирс, А.Адамс, Л.Кац, Дж.Цай, Т.Сейдел, Д.Макгиллис. Под редакцией С.Зи. - Технология СБИС В 2-х книгах. М.: «Мир», 1986.— 404 с.+ 453с.

  3. Ю.Д.Чистяков, Ю.П.Райнова - Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 1. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 392 С.

  4. М.В. Акуленок, В.М Андреева, Д.Г. Громов - Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для ВУЗов. Том 2. Технологические аспекты. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. – 252 С.

  5. В.П. Драгунов, И.Г. Неизвестный, В.А. Гридчин - Основы наноэлектроники: Учебное пособие. - Новосибирск.: НГТУ, 2000.-331с.

  6. А.А.Евдокимов и др. - Получение и исследования наноструктур: Лабораторный практикум по нанотехнологиям. М.: БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. – 146 С

в) программное обеспечение и Интернет-ресурсы:

Использование специализированного программного обеспечения не планируется, кроме программ для управления и контроля диагностическим и технологическим оборудованием

Федеральный портал «Информика» http://www.informika.ru/ и его проекты

Сайт Факультета Наук о Материалах МГУ http://www.nanometer.ru

Сайт ЦКП «Диагностика микро и наноструктур» http://www.nano.yar.ru

Сайт «Нанотехнологии интегральной электроники» http://www.nanoelectronics.yar.ru/

Сайт “NanoNewsNet” (http://www.nanonewsnet.ru) о нанотехнологиях в России и ветка его форума со ссылками на сайты по нанотехнологиям http://www.nanonewsnet.ru/forum/discussion/28/sayty-po-nanotehnologiyam/



Добавить в свой блог или на сайт

Похожие:

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма вступительного экзамена в аспирантуру по специальности 05. 16. 08 “Нанотехнологии и наноматериалы в электронике”
Программа составлена на основании типовых учебных планов по специальностям 1-41 01 02 "Микро- и наноэлектронные технологии и системы",...

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма-минимум кандидатского экзамена по специальности
Настоящая программа базируется на основополагающих разделах физической электроники: корпускулярной оптике, эмиссионной электронике,...

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма-минимум кандидатского экзамена по специальности 01. 04. 04 «Физическая электроника» по физико-математическим и техническим наукам
Настоящая программа базируется на основополагающих разделах физической электроники: корпускулярной оптике, эмиссионной электронике,...

Нанотехнологии в электронике iconРабоч ая учебная программа дисциплины Нанотехнологии в электронике
Профиль подготовки Химическая технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники

Нанотехнологии в электронике iconКонференция «Нанотехнологии-2012». Молодежная школа-семинар «Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике» 14: 02 14. 03. 2012 юфу, ТРТИ ТРТУ ТТИ юфу, г. Таганрог, Ростовская область, Россия, 25 -29 июня 2012 г
Юфу, трти – трту тти юфу, г. Таганрог, Ростовская область, Россия, 25 -29 июня 2012 г

Нанотехнологии в электронике iconРабоч ая учебная программа дисциплины Нанотехнологии в электронике
«Физика конденсированного состояния», «Материалы электронной техники», «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», «Техника высокого...

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма элективного курса «Нанотехнологии: когда размер имеет значение»
Нанотехнологии это не просто количественный, а качественный скачок от работы с веществом к манипуляции отдельными атомами. О том,...

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма дисциплины «Процессы получения наночастиц и наноматериалов, нанотехнологии» для направления 210600 «Нанотехнологии»
Программа предназначена для преподавателей, ведущих данную дисциплину, учебных ассистентов и студентов, обучающихся по направлению...

Нанотехнологии в электронике iconЧ. П. Пул мл. Ф. Дж. Оуэнс, Нанотехнологии 2-е дополненное издание Первое руководство на русском языке, описывающее структуру и свойства наноматериалов от твердотельных до биологических объектов. Исчерпывающе и
Второе издание дополнено материалами по методическим аспектам «индустрии наносистем» и применениям нанотрубок в электронике. Учебник-монография...

Нанотехнологии в электронике iconПрограмма вступительного конкурсного экзамена по направлению подготовки магистр ов 210100 электроника и наноэлектроника, Магистерская программа «Нанотехнологии в электронике»
Программа составлена на основе Государственного образовательного стандарта по направлению подготовки бакалавров 210100 “Проектирование...


Разместите кнопку на своём сайте:
lib.convdocs.org


База данных защищена авторским правом ©lib.convdocs.org 2012
обратиться к администрации
lib.convdocs.org
Главная страница