Учебно-методический комплекс по дисциплине "технология материалов электронной техники"




Скачать 309.82 Kb.
НазваниеУчебно-методический комплекс по дисциплине "технология материалов электронной техники"
страница1/3
Дата конвертации17.04.2013
Размер309.82 Kb.
ТипУчебно-методический комплекс
  1   2   3
МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования

«Ивановский государственный химико-технологический университет»

Факультет неорганической химии и технологии

Кафедра технологии приборов и материалов электронной техники


УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС


по дисциплине "ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"


Направление подготовки 210100 «Электроника и микроэлектроника»


Специальность «Микроэлектроника и твердотельная электроника»


Квалификация (степень) Инженер

Форма обучения очная


Составитель: к.х.н., доцент Шикова Т.Г.


Иваново, 2011

Выписка из ГОСУДАРСТВЕННОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО СТАНДАРТА

ВЫСШЕГО ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ


СД. 03

Технология материалов электронной техники:

основные процессы в гетерогенных химико-технологических системах: массо- и теплопередача в неподвижной среде, конвективный массо- и теплообмен; явления на границе раздела фаз; представления теории пограничного слоя; кинетика гетерогенных процессов; процессы измельчения разделения и очистки веществ; кристаллизация и стеклование; механизмы и кинетика роста кристаллов; закономерности кристаллизации из жидкой, паровой и твердой фаз; аппаратурное оформление процессов выращивания; разновидности эпитаксиальных процессов; физико-химические основы легирования кристаллов; расчет распределения примесей при консервативных и неконсервативных процессах кристаллизации; радиационное легирование; методы получения некристаллических и композиционных материалов: керамика, стекла, аморфные материалы полимерные композиции; аппаратурное оформление и организация технологических процессов; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования.

150


Р А Б О Ч А Я У Ч Е Б Н А Я П Р О Г Р А М М А

По дисциплине ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ

Составитель: к.х.н., доцент Шикова Т.Г.

Курс 4; Семестр 7; Экзамен 7 сем; Зачет 7 сем;

Всего часов по дисциплине: 150

Аудиторные занятия: 75 час.

Лекции - 30 час.

Лабораторно-практические занятия - 45 час.

Самостоятельная работа - 75 час, в том числе курсовая работа.

1. ВВЕДЕНИЕ.

1.1. ЦЕЛИ И ЗАДАЧИ ДИСЦИПЛИНЫ

Целью дисциплины является изучение общих подходов к описанию и анализу технологических процессов, а так же сущности и назначения традиционных и новых технологических процессов и операций производства материалов электронной техники.

1.2. ТРЕБОВАНИЯ К ЗНАНИЯМ И УМЕНИЯМ ПО ДИСЦИПЛИНЕ

Специалист должен:

Иметь представление:

- о технологии как науке, методах и приемах анализа технологических процессов;

- об основных технологических процессах производства и обработки материалов электронной техники;

- о совокупности и состоянии решения проблем в области технологии получения материалов и изделий в связи с основными тенденциями и перспективами развития электронного приборостроения;

знать и уметь использовать:

- способы управления фазовыми и химическими превращениями веществ в технологических процессах, дефектообразованием и электрофизическими свойствами материалов;

- физико-химические процессы и технологические основы подготовки сырья, производства и обработки (механической, термической, технохимической) основных полупроводниковых, композиционных и диэлектрических материалов электронной техники.

иметь навыки (опыт):

- проведения эксперимента по исследованию свойств материалов;

- разработки технологических схем производства материалов электронной техники;

- выбора методов и режимов обработки.

. СОДЕРЖАНИЕ ДИСЦИПЛИНЫ (учебные модули)

2.1. МОДУЛЬ 1.

Общая характеристика основных процессов технологии материалов электронной техники.

2.1.1. Лекционный материал. (10)часов.

Основные процессы в гетерогенных химико-технологических системах: массо- и теплопередача в неподвижной среде, конвективный массо- и теплообмен; явления на границе раздела фаз; представления теории пограничного слоя; кинетика гетерогенных процессов; процессы измельчения, разделения и очистки веществ.

Физико-химические процессы переработки сырья. Процессы измельчения и рассеивания твердых тел. Основы процессов разделения и очистки. Сорбционные процессы, экстракция, кристаллизация, перегонка через газовую фазу.

2.1.2. Лабораторные занятия: 9 час.

Химическая обработка полупроводников.

2.1.3. Практические занятия: не планируются.

2.1.4. Самостоятельная работа: 10 час. Обработка и анализ результатов лабораторных работ, подготовка к коллоквиуму.

2.2.МОДУЛЬ 2.

Технология получения и обработки монокристаллических материалов.

2.2.1. Лекционный материал: 10 час.

Технология получения монокристаллов из твердой, жидкой и газовой фаз, основы управления технологическим процессом выращивания монокристаллов.

Физико-химические основы процессов образования кристаллов, процессы конденсации, адсорбции и зародышеобразования. Кристаллизация и стеклование. Механизм и кинетика роста кристаллов; закономерности кристаллизации из жидкой, паровой и твердой фаз; разновидности эпитаксиальных процессов; аппаратурное оформление процессов выращивания;

Физико-химические основы легирования кристаллов; расчет распределения примесей при консервативных и неконсервативных процессах кристаллизации; радиационное легирование.

Особенности технологии важнейших монокристаллических материалов (кремния, арсенида галлия).

Физико-химические основы механической и технохимической обработки монокристаллических материалов. Механическая обработка полупроводниковых материалов, методы ориентации кристаллов, резка кристаллов на пластины, шлифовка, полировка пластин, контроль геометрических параметров пластин, скрайбирование.

Аппаратурное оформление и организация технологических процессов; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования

2.2.2. Лабораторные занятия: 9 час.

Синтез и исследование свойств кристаллофосфоров на основе полупроводниковых соединений АIIВVI.


2.2.3. Практические занятия 3 час.

Сравнительный анализ различных методов обработки полупроводниковых материалов, сравнение различных методов выращивания кристаллов, выбор и обоснование технологических режимов.

Доклады по теме модуля.

2.2.4. Самостоятельная работа: 20 час. Обработка и анализ результатов лабораторных работ, подготовка к коллоквиуму, практическим занятиям.

2.3. МОДУЛЬ 3. ТЕХНОЛОГИЯ НЕКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ.

2.3.1. Лекционный материал: 6 час.

Особенности стеклообразного состояния и строение стекла. Физико-химические основы стекловарения. Методы получения некристаллических и композиционных материалов: стекла, аморфные материалы полимерные композиции.

Основы технологии стеклоизделий: лазерные и оптические стекла, светочувствительные стекла, стеклянные волоконные и пленочные оптические элементы, халькогенидные полупроводниковые стекла.

Аппаратурное оформление и организация технологических процессов.

2.3.2. Лабораторные занятия: 9 час.

Исследование оптических свойств стекол.

Химическая очистка и травление стекла.

Плазменное травление и очистка стекла.

2.3.3. Практические занятия. 3 час.

Анализ процессов, выбор и обоснование технологических режимов получения и обработки некристаллических материалов и изделий.

Доклады по теме модуля.

2.3.4. Самостоятельная работа: 25 час. Обработка и анализ результатов лабораторных работ, подготовка к коллоквиуму, практическим занятиям.

2.4. МОДУЛЬ 4. ТЕХНОЛОГИЯ КЕРАМИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ. ПОЛУЧЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ.

2.4.1. Лекционный материал. 4 час.

Физико-химические основы технологии керамических материалов. Методы получения некристаллических и композиционных материалов: керамика. Подготовка исходных материалов, приготовление и гранулирование шихты. Формование заготовок. Холодное прессование. Термическая обработка заготовок. Спекание. Горячее прессование. Технология важнейших керамических материалов.

Основы технологии ситаллов.

Получение тонких пленок металлов методами термического испарения в вакууме, катодного и магнетронного распыления.

2.4.2. Лабораторные занятия. 9 час.

Получение тонких металлических пленок и исследование их характеристик.

Материалы для полупроводниковых и гибридных интегральных микросхем.

2.4.3. Практические занятия. 3 час.

Анализ процессов, выбор и обоснование технологических режимов производства керамики, ситаллов.

Доклады по теме модуля.

2.4.4. Самостоятельная работа: 20 час. Обработка и анализ результатов лабораторных работ, подготовка к коллоквиуму, практическим занятиям.

2.5. Курсовая работа технология производства и обработки одного из материалов

3. ФОРМЫ ОТЧЕТНОСТИ:

3.1. Коллоквиумы по каждому модулю – всего 4.

4. ЛИТЕРАТУРА

4.1. Основная литература:

  1. Раскин, А. А.    Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов. Ч.1 / А. А. Раскин, В. К. Прокофьева. - М. : БИНОМ. Лаборатор. знаний, 2010. - 165 с.

  2. Рощин, В. М.    Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов. Ч.2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - М. : БИНОМ. Лаборатор. знаний, 2010. - 181 с.

  3. Ю.М.Таиров, В.Ф.Цветков. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. СПб., Изд. Лань, 2002 г., 418 с.

  4. А.А. Барыбин. Физико-технологические основы электроники. СПб, Лань, 2001 г., 268 с.

  5. Д.А. Шутов, Д.В. Ситанов Процессы микро- и нанотехнологий // Лабораторный практикум. Часть 1. – Иваново, ИГХТУ, 2006.

  6. Кротова Г.Д., Дубровин В.Ю., Титов В.А., Шикова Т.Г. Технология материалов и изделий электронной техники: Лабораторный практикум. – ИГХТУ. – Иваново. – 2007. – 156 с.

  7. Киреев В.Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев, Валерий Юрьевич, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 191 с.


4.2. Дополнительная литература

  1. Козловский В. В. Модифицирование полупроводников пучками протонов / В. В. Козловский ; Отв. ред. Р. Ш. Малкович. - СПб. : Наука, 2003. - 268 с.

  2. Пасынков В. В. Материалы электронной техники : учебник для вузов по спец. "Полупроводники и диэл.", "Полупроводниковые и микроэл.приборы" / В. В. Пасынков, В. С. Сорокин. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1986. - 368 с.

  3. Герасименко, Пархоменко,, .Ю. Н. Кремний - материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 351 с. (23)

  4. Курносов А.И.,Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб.пособие для вузов.-М.:Высшая школа,1979.-368 с.

  5. Румак Н.В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; Под ред. В.Е. Борисенко; АН БССР. Физико-техн. ин-т. - Минск : Навука i технiка, 1990. - 191с.

  6. Металлургия и технология полупроводниковых материалов /Под ред. Б.А. Сахарова. М., Металлургия, 1972 г., 544с.



5. ПРИМЕНЕНИЕ ЭВМ


4. График текущего и промежуточного контроля

1 занятие – вводное;

2 занятие – Лабораторная работа №1;

3 занятие – Сдача отчета и защита лабораторной работы №1;

4 занятие – Лабораторная работа №2;

5 занятие – Лабораторная работа №2;

6 занятие – Сдача отчета и защита лабораторной работы №2;

7 занятие – Выступление с докладами по 1 модулю. Коллоквиум по 1 модулю;

8 занятие – Лабораторная работа №3;

9 занятие – Лабораторная работа №3;

10 занятие – Сдача отчета и защита лабораторной работы №3;

11 занятие – Выступление с докладами по 2 модулю. Коллоквиум по 2 модулю;

12 занятие – Лабораторная работа №4;

13 занятие – Лабораторная работа №4;

14 занятие – Сдача отчета и защита лабораторной работы №4;

15 занятие – Выступление с докладами по 3, 4 модулю. Коллоквиум по 3, 4 модулю.

Рейтинговый контроль работы студентов


Вид контроля

Количество баллов

Кол-во данных видов контроля за семестр

Сумма баллов

Выступление с докла-дом

10

1

10

Лабораторная работа

4

4

16

Коллоквиум

8

3

24

Суммарный балл по текущей работе в семестре







50


Зачет проставляется автоматически, если студент набрал по текущей работе не менее 26 баллов.


5. Карта обеспеченности дисциплины учебной и методической литературой


№ п/п

Авторы, название, место издания, издательство, год издания, количество страниц

Вид издания

(учебник, уч. пособие, и т.д.)

Категория

(Основная,

дополнительная)

Кол-во обучающихся, одновременно изучающих данную дисциплину

Кол-во экземпляров в библиотеке

Кол-во

экз. на

1 обуч.

1

Раскин, А. А.    Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов. Ч.1 / А. А. Раскин, В. К. Прокофьева. - М. : БИНОМ. Лаборатор. знаний, 2010. - 165 с.

Учебник

основная

20

25

1,25

2

Рощин, В. М.    Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники : учеб. пособие для вузов. Ч.2 / В. М. Рощин, М. В. Силибин. - М. : БИНОМ. Лаборатор. знаний, 2010. - 181 с.

Учебник

основная




5

0,25

3

Ю.М.Таиров, В.Ф.Цветков. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. СПб., Изд. Лань, 2002 г., 418 с.

Учебник

основная




24

1,2

4

Кротова Г.Д., Дубровин В.Ю., Титов В.А., Шикова Т.Г. Технология материалов и изделий электронной техники: Лабораторный практикум. – ИГХТУ. – Иваново. – 2007. – 156 с.


Уч. пособие

основная

50

2,5

5

Д.А. Шутов, Д.В. Ситанов Процессы микро- и нанотехнологий // Лабораторный практикум. Часть 2. – Иваново, ИГХТУ, 2006.

Уч. пособие

основная

50

2,5

6

А.А. Барыбин. Физико-технологические основы электроники. СПб, Лань, 2001 г., 268 с.

Учебник

основная

15

0,75

7

Киреев В.Ю. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы / Киреев, Валерий Юрьевич, А. А. Столяров. - М. : Техносфера, 2006. - 191 с.

Учебник

основная

40

2,0

8

Металлургия и технология полупроводниковых материалов /Под ред. Б.А. Сахарова. М., Металлургия, 1972 г., 544с.

Учебник

дополнительная







9

Козловский В. В. Модифицирование полупроводников пучками протонов / В. В. Козловский ; Отв. ред. Р. Ш. Малкович. - СПб. : Наука, 2003. - 268 с.

Учебное пособие

дополнительная

1

0,05

10

Пасынков В. В. Материалы электронной техники : учебник для вузов по спец. "Полупроводники и диэл.", "Полупроводниковые и микроэл.приборы" / В. В. Пасынков, В. С. Сорокин. - 2-е изд., перераб. и доп. - М. : Высш. шк., 1986. - 368 с.

Учебник

дополнительная

24

1,2

11

Герасименко, Пархоменко,, .Ю. Н. Кремний - материал наноэлектроники. М.: Техносфера, 2007. 351 с. (23)

Учебник

дополнительная

23

1,15

12

Курносов А.И.,Юдин В.В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: Учеб.пособие для вузов.-М.:Высшая школа,1979.-368 с.

Учебник

дополнительная

48

2,4

13

Румак Н.В. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике / Н. В. Румак, В. В. Хатько ; Под ред. В.Е. Борисенко; АН БССР. Физико-техн. ин-т. - Минск : Навука i технiка, 1990. - 191с.

Учебник

дополнительная

20

1,0

  1   2   3

Добавить в свой блог или на сайт

Похожие:

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс по дисциплине «технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники»
Целью данной дисциплины является изучение типовых технологических процессов, используемых в производстве изделий электронной техники,...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс по дисциплине "физическая химия материалов и процессов электронной техники"
Дисциплина завершает цикл по изучению физических и химических свойств твердых тел, начатый курсами "Физика твердого тела", "Материалы...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconКафедра «Технология приборов и материалов электронной техники» Обеспеченность литературой учебных дисциплин по состоянию на июль 2011 года Направление «Материаловедение и технология новых материалов», специальность «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники»
Направление «Материаловедение и технология новых материалов», специальность «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconКафедра «Технология приборов и материалов электронной техники» Обеспеченность литературой учебных дисциплин по состоянию на июль 2011 года Направление «Химическая технология», профиль «Химическая технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники»
Списки основной и дополнительной литературы. Направление «Материаловедение и технология новых материалов», специальность «Химическая...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс по дисциплине «Материаловедение. Технология конструкционных материалов» (федеральный компонент) составлен в соответствии с требованиями к уровню подготовки специалиста по специальности 050501.
Учебно-методический комплекс: Материаловедение. Технология конструкционных материалов (Учебная и рабочая программы, методические...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconМетодические указания по выполнению курсовой работы по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники»
Целью курсовой работы является систематизация, закрепление и расширение теоретических знаний, полученных при изучении дисциплины...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс по дисциплине Материаловедение. Технология конструкционных материалов
...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс дисциплины «материалы и элементы электронной техники»
Проектирование учебного процесса по учебной дисциплине «Материалы и элементы электронной техники» (мээт) (4, 5 семестры)

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconУчебно-методический комплекс по дисциплине «материалы и элементы электронной техники»
Дисциплина «материалы и элементы электронной техники» входит в цикл общепрофессиональных дисциплин направления 210100 «Электроника...

Учебно-методический комплекс по дисциплине \"технология материалов электронной техники\" iconПрограмма вступительного экзамена по специальности 05. 27. 06 «Технология и оборудование для производства полупроводников материалов и приборов электронной техники»
«Технология обработки материалов», «Конструирование и технология электронных систем электронно-оптической аппаратуры», «Технология...


Разместите кнопку на своём сайте:
lib.convdocs.org


База данных защищена авторским правом ©lib.convdocs.org 2012
обратиться к администрации
lib.convdocs.org
Главная страница